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薄膜厚度的测量方法

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薄膜厚度的测量方法

发布日期:2017-02-24 作者:江苏泰禾达机械有限公司 点击:

随着科技的进步和精密仪器的应用,电镀设备厂家薄膜厚度测量方法有很多,按照测量的方式分可以分为两类:直接测量与间接测量。直接测量指应用测量仪器,通过接触(或光接触)直接感应出薄膜的厚度。

直接法测量有:螺旋测微法、精密轮廓扫描法(台阶法)、扫描电子显微法(SEM);

间接测量指根据一定对应的物理关系,将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度,从而达到测量薄膜厚度的目的。

常见的间接法测量有:称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。按照测量的原理可分为三类:称量法、电学法、光学法。

常见的称量法有:天平法、石英法、原子数测定法;

常见的电学法有:电阻法、电容法、涡流法;

常见的光学方法有:等厚干涉法、变角干涉法、光吸收法、椭圆偏振法。

下面简单介绍三种:

1。 干涉显微镜法

干涉条纹间距Δ0,条纹移动Δ,台阶高为t=(Δ/Δ0 )*0。5λ,测出Δ0 和Δ,即可,其中λ为单色光波长,如用白光,λ取 530nm。

18.jpg 

2. 称重法

   如果薄膜面积A,密度ρ和质量m可以被精确测定的话,膜厚t就可以计算出来:

d=m/Aρ。

3 石英晶体振荡器法

    广泛应用于薄膜淀积过程中厚度的实时测量,主要应用于淀积速度,厚度的监测,还可以反过来(与电子技术结合)控制物质蒸发或溅射的速率,从而实现对于淀积过程的自动控制。

对于薄膜制造商而言,产品的厚度均匀性是最重要的指标之一,想要有效地控制材料厚度,厚度测试设备是必不可少的,但是具体要选择哪一类测厚设备还需根据软包材的种类、厂商对厚度均匀性的要求、以及设备的测试范围等因素而定。


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